电加热器是真空电阻炉的重要部件，它决定炉子的工作能力和工作期限。电加热器是由电热元件组成的，

　　(1)电热元件向工件传热的形式不同。真空炉的电热元件是通过辐射向工件传热，所以在其他条件相同时，真空炉的温度比非真空炉的要高。不过，只在低温炉中温度差别才比较显著。

　　(2)电热元件与炉内气氛互相作用的条件不同。电热元件在真空炉内的工作条件比其他状态下要好，特别是比炉内为氧化气氛的非真空炉要好得多。因而，电热元件在真空状态下对抗氧化性要求不高。非真空炉电加热器中电热元件工作时除了炉内气氛与电热元件发生化学反应外，某些电热材料，特别是稀有金属，在加热时因吸收大量气体而变脆、易损坏，但在真空状态下这些金属就能较长期而可靠地工作。

　　(3)电热元件材料的挥发速度不同。电热材料在真空炉内容易挥发，由于随着电热元件温度的升高，其蒸气压也随之增加，故使用寿命降低。从这一点看，真空也给电热元件带来了不利影响。

　　对于低、中温真空炉(使用温度不高于1000℃)，一般采用镍铬合金、铁铬铝合金作电热元件;对于高温真空炉，特别是使用温度大于1200℃的真空炉，所使用的电热元件为铝、钨、钽等纯金属以及石墨。非金属电热材料，如碳化硅在真空下其黏结剂会分解，硅化铝在真空下超过1300℃时会软化，因此真空炉很少采用这两种电热材料