主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
1、由于模具一般由用户自备,模具材料基本上选用高纯石墨,其耐压极限为40MPa,建议用户使用在30MPa以下比较安全,加压前应计算模具上、下冲头的面积,再换算成压力,具体公式如下:
5、因设备较复杂,建议专人使用,专人负责,对新手严格实行用前培训,用后检查,操作使用要有记录等设备使用规定。